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内嵌式零点系统ZPS
内嵌式零点系统ZPS技术应用优势显著，具备高精度***位置监测能力，分辨率可达亚纳米级，适用于高精密位移控制。其非接触式检测方式节省空间，对环境电磁场变化免疫，且温度稳定性高，可工作于真空环境。此外，模块化设计便于安装与维护，提高生产效率和加工精度。
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